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Introducción a la tecnología MEMS

Tecnología MEMS

La tecnología MEMS integra elementos mecánicos, sensores, actuadores y electrónica ubicados en un nivel de sustrato de silicio. MEMS significa Micro Electro-Mechanical Systems (Sistemas Microelectromecánicos).

Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) se refiere a una tecnología que involucra componentes mecánicos y electromecánicos miniaturizados construidos a escala de oblea. Esto permite que la tecnología MEMS se incruste en chips, que luego se pueden integrar en circuitos impresos, de forma similar a otros componentes electrónicos.

Los dispositivos constan de elementos electromecánicos (tanto móviles como estacionarios) controlados por microelectrónica integrada.

Los componentes principales de MEMS incluyen estructuras miniaturizadas, sensores, actuadores y microelectrónica. Los microsensores y microactuadores se clasifican como transductores, dispositivos que convierten señales mecánicas en señales eléctricas.

Los MEMS han demostrado ser una tecnología clave para los avances en áreas como el transporte, las telecomunicaciones y la atención médica.

Los sensores de sistemas microelectromecánicos también se utilizan ampliamente en aplicaciones de consumo, como teléfonos inteligentes y dispositivos de juegos, pero también existe un gran mercado para dispositivos MEMS de mayor calidad, desarrollados para la automoción, la industria aeroespacial y otras aplicaciones.

El grado del sensor representa la calidad del componente, lo que es un buen indicador de su fiabilidad. Es una escala que suele separarse en las siguientes categorías: Consumo, Industrial, Táctico, Navegación, Militar.

Cuanto mayor es el grado del sensor, más preciso es y mayor es el precio. Para los dispositivos inerciales, esta clasificación se basa en la deriva en g para los acelerómetros y en grados por segundo para los giroscopios.

Los sensores de grado de consumo y los de grado industrial responden a necesidades diferentes. La principal ventaja de los sensores de grado industrial es su fiabilidad, mientras que los de grado de consumo ofrecen un rango de medición más amplio a un precio más bajo.

El rango del giroscopio indica el grado del sensor. Normalmente, los giroscopios y los acelerómetros son del mismo grado.