Die MEMS-Technologie integriert mechanische Elemente, Sensoren, Aktoren und Elektronik, die sich auf einer Siliziumsubstrat-Ebene befinden. MEMS steht für Micro Electro-Mechanical Systems.
Definition
Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) bezieht sich auf eine Technologie, die miniaturisierte mechanische und elektromechanische Komponenten umfasst, die im Wafermaßstab hergestellt werden. Dies ermöglicht die Einbettung der MEMS-Technologie in Chips, die dann, ähnlich wie andere elektronische Komponenten, in gedruckte Schaltungen integriert werden können.
Die Geräte bestehen aus elektromechanischen Elementen (sowohl beweglichen als auch stationären), die von integrierter Mikroelektronik gesteuert werden.
Zu den Kernkomponenten von MEMS gehören miniaturisierte Strukturen, Sensoren, Aktoren und Mikroelektronik. Mikrosensoren und Mikroaktoren werden als Wandler klassifiziert, d. h. als Geräte, die mechanische Signale in elektrische Signale umwandeln.
MEMS-Anwendungen
MEMS haben sich als eine Schlüsseltechnologie für Entwicklungen in Bereichen wie Transport, Telekommunikation und Gesundheitswesen erwiesen.
Sensoren für Micro Electro-Mechanical Systems werden heute auch in großem Umfang in Consumer-Anwendungen wie Smartphones und Spielgeräten eingesetzt, aber es gibt auch einen großen Markt für hochwertigere MEMS-Geräte, die für die Automobilindustrie, die Luft- und Raumfahrt und andere Anwendungen entwickelt wurden.
Sensorklasse
Die Sensorqualität stellt die Qualität der Komponente dar, die ein guter Indikator für ihre Zuverlässigkeit ist. Es handelt sich um eine Skala, die in der Regel in die folgenden Kategorien unterteilt wird: Consumer, Industrial, Tactical, Navigation, Military.
Je höher die Sensorqualität ist, desto genauer ist er und desto höher ist der Preis. Bei Trägheitsgeräten basiert diese Klassifizierung auf der Drift in g für die Beschleunigungsmesser und in Grad pro Sekunde für die Gyroskope.
Consumer Grade vs. Industrial Grade
Sensoren für den Verbraucher- und den Industriebereich erfüllen unterschiedliche Anforderungen. Die größte Stärke von Sensoren für den Industriebereich liegt in ihrer Zuverlässigkeit, während Sensoren für den Verbraucherbereich einen größeren Messbereich zu einem günstigeren Preis bieten.
Die Gyroskop-Reihe gibt die Klasse des Sensors an. In der Regel entsprechen Gyroskope und Beschleunigungssensoren derselben Klasse.
