Technologia MEMS integruje elementy mechaniczne, czujniki, aktuatory i elektronikę umieszczone na poziomie podłoża krzemowego. MEMS to skrót od Micro Electro-Mechanical Systems.
Definicja
Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) odnosi się do technologii, która obejmuje zminiaturyzowane komponenty mechaniczne i elektromechaniczne zbudowane w skali wafla. Umożliwia to osadzanie technologii MEMS w chipach, które można następnie integrować z obwodami drukowanymi, podobnie jak inne komponenty elektroniczne.
Urządzenia składają się z elementów elektromechanicznych (zarówno ruchomych, jak i stacjonarnych) sterowanych przez zintegrowaną mikroelektronikę.
Podstawowe komponenty MEMS obejmują zminiaturyzowane struktury, czujniki, aktuatory i mikroelektronikę. Mikrosensory i mikroaktuatory są klasyfikowane jako przetworniki, urządzenia, które przekształcają sygnały mechaniczne w sygnały elektryczne.
Zastosowania MEMS
MEMS okazały się kluczową technologią umożliwiającą rozwój w takich obszarach, jak transport, telekomunikacja i opieka zdrowotna.
Czujniki Micro Electro-Mechanical Systems są obecnie szeroko stosowane w aplikacjach konsumenckich, takich jak smartfony i urządzenia do gier, ale istnieje również duży rynek dla wysokiej jakości urządzeń MEMS, opracowywanych dla motoryzacji, lotnictwa i innych zastosowań.
Klasa czujnika
Klasa czujnika reprezentuje jakość komponentu, która jest dobrym wskaźnikiem jego niezawodności. Jest to skala, która jest zwykle podzielona na następujące kategorie: konsumencka, przemysłowa, taktyczna, nawigacyjna, wojskowa.
Im wyższa klasa czujnika, tym jest on dokładniejszy i wyższa jest jego cena. W przypadku urządzeń inercyjnych klasyfikacja ta opiera się na dryfcie w g dla akcelerometrów i w stopniach na sekundę dla żyroskopów.
Klasa konsumencka a klasa przemysłowa
Czujniki klasy konsumenckiej i przemysłowej zaspokajają różne potrzeby. Główną zaletą czujników klasy przemysłowej jest ich niezawodność, podczas gdy czujniki klasy konsumenckiej charakteryzują się szerszym zakresem pomiarowym przy niższej cenie.
Zakres działania żyroskopu wskazuje klasę czujnika. Zazwyczaj żyroskopy i akcelerometry należą do tej samej klasy.
