Technologia MEMS integruje elementy mechaniczne, czujniki, siłowniki i elektronikę umieszczone na poziomie podłoża krzemowego. MEMS to skrót od Micro Electro-Mechanical Systems.
Definicja
Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) odnosi się do technologii obejmującej zminiaturyzowane komponenty mechaniczne i elektromechaniczne wytwarzane w skali wafla krzemowego. Umożliwia to osadzanie technologii MEMS w chipach, które mogą być następnie integrowane w obwodach drukowanych, podobnie jak inne komponenty elektroniczne.
Urządzenia te składają się z elementów elektromechanicznych (zarówno ruchomych, jak i nieruchomych) sterowanych przez zintegrowaną mikroelektronikę.
Rdzenne komponenty MEMS obejmują zminiaturyzowane struktury, czujniki, siłowniki i mikroelektronikę. Mikrosensory i mikroczujniki wykonawcze są klasyfikowane jako przetworniki – urządzenia, które konwertują sygnały mechaniczne na elektryczne.
Zastosowania MEMS
Systemy MEMS okazały się kluczową technologią umożliwiającą rozwój w takich obszarach jak transport, telekomunikacja i ochrona zdrowia.
Czujniki Micro Electro-Mechanical Systems są obecnie również szeroko stosowane w aplikacjach klasy konsumenckiej, takich jak smartfony i urządzenia do gier, ale istnieje również duży rynek urządzeń MEMS wyższej jakości, rozwijanych dla motoryzacji, lotnictwa i innych zastosowań.
Klasa czujnika
Klasa czujnika reprezentuje jakość komponentu, co jest dobrym wskaźnikiem jego niezawodności. Jest to skala, która zazwyczaj dzieli się na następujące kategorie: konsumencka, przemysłowa, taktyczna, nawigacyjna, wojskowa.
Im wyższa klasa czujnika, tym większa jego dokładność i wyższa cena. W przypadku urządzeń inercyjnych klasyfikacja ta opiera się na dryfie w g dla akcelerometrów oraz w stopniach na sekundę dla żyroskopów.
Klasa konsumencka a klasa przemysłowa
Czujniki klasy konsumenckiej i przemysłowej zaspokajają różne potrzeby. Główną zaletą czujników klasy przemysłowej jest ich niezawodność, podczas gdy czujniki klasy konsumenckiej charakteryzują się szerszym zakresem pomiarowym przy niższej cenie.
Zakres pomiarowy żyroskopu wskazuje klasę czujnika. Zazwyczaj żyroskopy i akcelerometry należą do tej samej klasy.
