Technologia MEMS integruje elementy mechaniczne, czujniki, aktuatory i elektronikę umieszczone na poziomie podłoża krzemowego. MEMS to skrót od Micro Electro-Mechanical Systems.
Definicja
Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) odnosi się do technologii, która obejmuje zminiaturyzowane komponenty mechaniczne i elektromechaniczne zbudowane w skali wafla. Umożliwia to osadzanie technologii MEMS w chipach, które można następnie integrować z obwodami drukowanymi, podobnie jak inne komponenty elektroniczne.
Urządzenia składają się z elementów elektromechanicznych (zarówno ruchomych, jak i stacjonarnych) sterowanych przez zintegrowaną mikroelektronikę.
Podstawowe komponenty MEMS obejmują zminiaturyzowane struktury, czujniki, aktuatory i mikroelektronikę. Mikrosensory i mikroaktuatory są klasyfikowane jako przetworniki, urządzenia, które przekształcają sygnały mechaniczne w sygnały elektryczne.
Zastosowania MEMS
MEMS okazały się kluczową technologią umożliwiającą rozwój w takich obszarach, jak transport, telekomunikacja i opieka zdrowotna.
Czujniki Micro Electro-Mechanical Systems są obecnie szeroko stosowane w aplikacjach konsumenckich, takich jak smartfony i urządzenia do gier, ale istnieje również duży rynek dla wysokiej jakości urządzeń MEMS, opracowywanych dla motoryzacji, lotnictwa i innych zastosowań.
Klasa czujnika
Klasa czujnika reprezentuje jakość komponentu, która jest dobrym wskaźnikiem jego niezawodności. Jest to skala, która jest zwykle podzielona na następujące kategorie: konsumencka, przemysłowa, taktyczna, nawigacyjna, wojskowa.
Im wyższa klasa czujnika, tym jest on dokładniejszy i wyższa jest jego cena. W przypadku urządzeń inercyjnych klasyfikacja ta opiera się na dryfcie w g dla akcelerometrów i w stopniach na sekundę dla żyroskopów.
Klasa konsumencka a klasa przemysłowa
Czujniki klasy konsumenckiej i przemysłowej odpowiadają na różne potrzeby. Główną zaletą czujników klasy przemysłowej jest ich niezawodność, podczas gdy czujniki klasy konsumenckiej mają szerszy zakres pomiarowy w niższej cenie.
Zakres żyroskopu wskazuje na klasę czujnika. Zazwyczaj żyroskopy i akcelerometry są tej samej klasy.
