Технологія MEMS об'єднує механічні елементи, датчики, приводи та електронні компоненти, розміщені на рівні кремнієвої підкладки. Абревіатура MEMS розшифровується як Micro системи».
Визначення
Micro системи (MEMS) — це технологія, що передбачає створення мініатюрних механічних та електромеханічних компонентів на рівні мікросхем. Це дозволяє вбудовувати технологію MEMS у мікросхеми, які потім можна інтегрувати в друковані плати, подібно до інших електронних компонентів.
Пристрої складаються з електромеханічних елементів (як рухомих, так і нерухомих), що керуються інтегрованою мікроелектронікою.
Основні компоненти MEMS включають мініатюрні структури, датчики, приводи та мікроелектроніку. Мікродатчики та мікроприводи класифікуються як перетворювачі — пристрої, що перетворюють механічні сигнали на електричні.
Застосування МЕМС
Micro системи (MEMS) зарекомендували себе як ключова технологія, що сприяє розвитку таких галузей, як транспорт, телекомунікації та охорона здоров’я.
Micro ДатчикиMicro сьогодні також широко використовуються у споживчих пристроях, таких як смартфони та ігрові приставки, але існує й великий ринок для високоякісних пристроїв MEMS, розроблених для автомобільної, авіакосмічної та інших галузей.
Клас датчика
Клас датчика відображає якість компонента, що є гарним індикатором його надійності. Це шкала, яка зазвичай поділяється на такі категорії: споживча, промислова, тактична, навігаційна, військова.
Чим вищий клас датчика, тим він точніший і тим вища його ціна. Для інерціальних пристроїв ця класифікація базується на дрейфі в g для акселерометрів та в градусах за секунду для гіроскопів.
Споживчий рівень проти промислового рівня
Датчики споживчого та промислового класу призначені для задоволення різних потреб. Головною перевагою датчиків промислового класу є їхня надійність, тоді як датчики споживчого класу мають ширший діапазон вимірювання за нижчою ціною.
Діапазон гіроскопа вказує на клас датчика. Зазвичай гіроскопи та акселерометри належать до одного й того самого класу.
