Технологія MEMS інтегрує механічні елементи, датчики, актуатори та електроніку на рівні кремнієвої підкладки. MEMS розшифровується як мікроелектромеханічні системи.
Визначення
Мікроелектромеханічні системи (MEMS) — це технологія, що передбачає мініатюрні механічні та електромеханічні компоненти, створені на рівні пластин. Це дозволяє вбудовувати технологію MEMS у чипи, які потім можна інтегрувати в друковані плати, подібно до інших електронних компонентів.
Пристрої складаються з електромеханічних елементів (як рухомих, так і стаціонарних), керованих інтегрованою мікроелектронікою.
Основними компонентами MEMS є мініатюрні структури, датчики, актуатори та мікроелектроніка. Мікросенсори та мікроактуатори класифікуються як перетворювачі — пристрої, що перетворюють механічні сигнали на електричні.
Застосування MEMS
MEMS довели свою ефективність як ключова технологія для розвитку в таких галузях, як транспорт, телекомунікації та охорона здоров'я.
Датчики на базі мікроелектромеханічних систем тепер також широко використовуються в споживчих пристроях, таких як смартфони та ігрові пристрої, але існує також великий ринок для високоякісних пристроїв MEMS, розроблених для автомобільної, аерокосмічної та інших галузей.
Клас чутливості
Клас датчика відображає якість компонента, що є гарним показником його надійності. Це шкала, яка зазвичай поділяється на такі категорії: споживча, промислова, тактична, навігаційна, військова.
Чутливіший клас датчика означає вищу точність та вищу ціну. Для інерціальних пристроїв ця класифікація базується на дрейфі в g для акселерометрів і в градусах за секунду для гіроскопів.
Споживчий рівень проти промислового рівня
Датчики споживчого та промислового класу призначені для задоволення різних потреб. Головною перевагою датчиків промислового класу є їхня надійність, тоді як датчики споживчого класу мають ширший діапазон вимірювання за нижчою ціною.
Діапазон гіроскопа вказує на клас датчика. Зазвичай гіроскопи та акселерометри належать до одного й того самого класу.
