MEMS 技术集成了位于硅衬底水平的机械元件、传感器、执行器和电子器件。MEMS 代表 Micro Electro-Mechanical Systems（微机电系统）。
定义
微机电系统 (MEMS) 是指涉及在晶圆级制造的小型化机械和机电组件的技术。这使得 MEMS 技术能够嵌入到芯片中，进而集成到印刷电路板中，与其他电子元件类似。
这些器件由集成微电子技术控制的机电元件（包括运动和静止元件）组成。
MEMS 的核心组件包括微型化结构、传感器、执行器和微电子。微型传感器和微型执行器被分类为换能器，即把机械信号转换为电信号的器件。
MEMS 应用
事实证明，MEMS 已成为推动交通运输、电信和医疗保健等领域发展的一项关键赋能技术。
目前，微机电系统传感器也广泛应用于消费级应用（如智能手机和游戏设备），但针对汽车、航空航天及其他应用开发的高质量 MEMS 器件也拥有庞大的市场。
传感器等级
传感器等级代表了组件的质量，这是其可靠性的一个很好的指标。这是一个通常分为以下类别的等级：消费级、工业级、战术级、导航级、军工级。
传感器的等级越高，精度就越高，价格也越高。对于惯性设备，此分类基于加速度计的 g 值漂移以及陀螺仪每秒度数的漂移。
消费级与工业级
消费级和工业级传感器分别满足不同的需求。工业级传感器的主要优势在于其可靠性，而消费级传感器则以更低的价格提供更宽的测量范围。
陀螺仪的测量范围反映了传感器的等级。通常，陀螺仪和加速度计属于同一等级。
