MEMS 技术将机械元件、传感器、致动器和电子元件集成在硅衬底上。MEMS 是微型机电系统（Micro Electro-Mechanical Systems）的缩写。
定义
微机电系统（MEMS）是指一种在晶圆级制造微型机械和机电元件的技术。这使得微机电系统技术可以嵌入芯片，然后再集成到印刷电路中，与其他电子元件类似。
这些设备由集成微电子控制的机电元件（包括移动和静止元件）组成。
微机电系统的核心元件包括微型结构、传感器、致动器和微电子。微型传感器和微型致动器被归类为传感器，是将机械信号转换为电信号的设备。
微机电系统应用
微机电系统传感器现在也广泛应用于智能手机和游戏设备等消费级应用，但为汽车、航空航天和其他应用开发的更高质量微机电系统设备也有很大的市场。
传感器等级
传感器等级代表组件的质量，是其可靠性的良好指标。传感器等级通常分为以下几类：消费类、工业类、战术类、导航类和军用类：
传感器等级越高，精度越高，价格也越高。对于惯性设备来说，这种分类的依据是加速度计的漂移（以克为单位）和陀螺仪的漂移（以度/秒为单位）。
消费级与工业级
消费级和工业级传感器可满足不同的需求。工业级传感器的主要优势在于其可靠性，而消费级传感器的测量范围更广，价格更低。
陀螺仪的量程表示传感器的等级。陀螺仪和加速度计通常是同一等级。