MEMS 技术集成了位于硅衬底层的机械元件、传感器、执行器和电子元件。MEMS 代表微机电子系统。
定义
微机电系统 (MEMS) 是指一种在晶圆级构建的微型机械和机电组件的技术。 这使得 MEMS 技术能够嵌入到芯片中，然后可以像其他电子元件一样集成到印刷电路中。
这些设备由集成微电子控制的机电元件（包括移动和静止元件）组成。
MEMS 的核心组件包括微型结构、传感器、执行器和微电子器件。 微传感器和微执行器被归类为传感器，即把机械信号转换成电信号的设备。
MEMS 应用
MEMS 已被证明是交通运输、电信和医疗保健等领域发展的关键技术。
微机电系统传感器现在也广泛应用于消费级应用，如智能手机和游戏设备，但汽车、航空航天和其他应用领域对更高质量的 MEMS 设备也有很大的市场需求。
传感器等级
传感器等级代表了组件的质量，这是其可靠性的良好指标。它是一个通常分为以下几类的等级：消费级、工业级、战术级、导航级、军用级。
传感器的等级越高，精度越高，价格也越高。对于惯性设备，此分类基于加速度计的 g 值漂移和陀螺仪的度/秒漂移。
消费级 vs 工业级
消费级和工业级传感器满足不同的需求。工业级传感器的主要优势在于其可靠性，而消费级传感器则以更低的价格提供更宽的测量范围。
陀螺仪的量程指示了传感器的等级。通常，陀螺仪和加速度计的等级相同。