MEMS 技术将位于硅衬底级上的机械元件、传感器、致动器和电子器件集成在一起。MEMS 代表微机电系统。
定义
微机电系统 (MEMS) 是指涉及在晶圆级制造的小型化机械和机电组件的技术。这使得 MEMS 技术能够嵌入芯片中，然后像其他电子组件一样集成到印刷电路中。
这些设备由集成微电子控制的机电元件（活动和静止元件）组成。
MEMS 的核心组件包括小型化结构、传感器、致动器和微电子。微传感器和微致动器被分类为换能器，即把机械信号转换为电信号的设备。
MEMS 应用
事实证明，MEMS 是推动交通、电信和医疗保健等领域发展的一项关键赋能技术。
微机电系统传感器现在也广泛用于消费级应用，例如智能手机和游戏设备，但对于为汽车、航空航天和其他应用开发的高质量 MEMS 设备，也存在着巨大的市场。
传感器等级
传感器等级代表了组件的质量，这是其可靠性的良好指标。这是一个通常分为以下类别的等级：消费级、工业级、战术级、导航级、军用级。
传感器等级越高，精度越高，价格也越高。对于惯性器件，此分类基于加速度计的 g 值漂移以及陀螺仪的每秒度数漂移。
消费级 vs 工业级
消费级和工业级传感器满足不同的需求。工业级传感器的主要优势在于其可靠性，而消费级传感器以较低的价格提供更广的测量范围。
陀螺仪范围表示传感器的等级。通常陀螺仪和加速度计属于同一等级。
