La technologie MEMS intègre des éléments mécaniques, des capteurs, des actionneurs et de l'électronique situés au niveau d'un substrat en silicium. MEMS signifie Micro Electro-Mechanical Systems.
Définition
Les Systèmes Micro-Électro-Mécaniques (MEMS) désignent une technologie qui englobe des composants mécaniques et électromécaniques miniaturisés fabriqués à l'échelle de la plaque (wafer). Cela permet d'intégrer la technologie MEMS dans des puces, qui peuvent ensuite être incorporées dans des circuits imprimés, de la même manière que d'autres composants électroniques.
Les dispositifs se composent d'éléments électromécaniques (mobiles et stationnaires) contrôlés par une microélectronique intégrée.
Les composants de base des MEMS comprennent des structures miniaturisées, des capteurs, des actionneurs et de la microélectronique. Les microcapteurs et les microactionneurs sont classés comme des transducteurs, c'est-à-dire des dispositifs qui convertissent des signaux mécaniques en signaux électriques.
Applications des MEMS
Les MEMS se sont avérés être une technologie clé pour le développement dans des domaines tels que le transport, les télécommunications et la santé.
Les capteurs à Systèmes Micro-Électro-Mécaniques sont désormais également largement utilisés dans les applications grand public, telles que les smartphones et les appareils de jeux, mais il existe aussi un vaste marché pour des dispositifs MEMS de plus haute qualité, développés pour l'automobile, l'aérospatiale et d'autres applications.
Niveau cinématique / de navigation
La catégorie (grade) du capteur représente la qualité du composant, ce qui constitue un bon indicateur de sa fiabilité. C'est une échelle généralement divisée en plusieurs catégories : Grand public, Industriel, Tactique, Navigation, Militaire.
Plus le capteur est de haute qualité, plus il est précis, et plus son prix est élevé. Pour les appareils inertiels, cette classification repose sur la dérive en g pour les accéléromètres et en degrés par seconde pour les gyroscopes.
Niveau grand public vs niveau industriel
Les capteurs de niveau grand public et industriel répondent à des besoins différents. Le principal atout des capteurs de niveau industriel réside dans leur fiablilité, tandis que les capteurs grand public offrent une plage de mesure plus large à un prix inférieur.
La plage de mesure du gyroscope détermine la catégorie du capteur. En règle générale, les gyroscopes et les accéléromètres appartiennent à la même catégorie.
