A tecnologia MEMS integra elementos mecânicos, sensores, atuadores e componentes eletrônicos localizados no nível de um substrato de silício. MEMS significa Micro Electro-Mechanical Systems.
Definição
Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) refere-se a uma tecnologia que envolve componentes mecânicos e eletromecânicos miniaturizados construídos em escala de wafer. Isso permite que a tecnologia MEMS seja incorporada em chips, que podem então ser integrados a circuitos impressos, de maneira semelhante a outros componentes eletrônicos.
Os dispositivos consistem em elementos eletromecânicos (tanto móveis quanto estacionários) controlados por microeletrônica integrada.
Os principais componentes dos MEMS incluem estruturas miniaturizadas, sensores, atuadores e microeletrônica. Microfones, microssensores e microatuadores são classificados como transdutores, dispositivos que convertem sinais mecânicos em sinais elétricos.
Aplicações de MEMS
Os MEMS provaram ser uma tecnologia essencial para o avanço em áreas como transporte, telecomunicações e saúde.
Os sensores baseados em Micro Electro-Mechanical Systems agora também são amplamente utilizados em aplicações de grau de consumo, como smartphones e dispositivos de jogos, mas também existe um mercado expressivo para dispositivos MEMS de maior qualidade, desenvolvidos para os setores automotivo, aeroespacial e outras aplicações.
Grau do sensor
O grau do sensor representa a qualidade do componente, sendo um bom indicador de sua confiabilidade. É uma escala normalmente dividida nas seguintes categorias: Consumo, Industrial, Tático, Navegação, Militar.
Quanto maior o grau do sensor, maior é a sua precisão e, consequentemente, o seu preço. No caso de dispositivos inerciais, essa classificação baseia-se na deriva (bias drift) em g para os acelerômetros e em graus por segundo para os giroscópios.
Grau de consumo vs. grau industrial
Os sensores de nível de consumo e de nível industrial atendem a necessidades diferentes. O principal ponto forte dos sensores de nível industrial é sua confiabilidade, enquanto os sensores de nível de consumo oferecem uma faixa de medição mais ampla por um preço mais baixo.
A linha de giroscópios indica o nível do sensor. Normalmente, os giroscópios e os acelerômetros são do mesmo nível.
