A tecnologia MEMS integra elementos mecânicos, sensores, atuadores e eletrônicos localizados em um substrato de silício. MEMS significa Micro Electro-Mechanical Systems (sistemas microeletromecânicos).
Definição
Os sistemas microeletromecânicos (MEMS) referem-se a uma tecnologia que envolve componentes mecânicos e eletromecânicos miniaturizados construídos em escala de wafer. Isso permite que a tecnologia MEMS seja incorporada a chips, que podem ser integrados a circuitos impressos, de forma semelhante a outros componentes eletrônicos.
Os dispositivos consistem em elementos eletromecânicos (móveis e fixos) controlados por microeletrônica integrada.
Os principais componentes do MEMS incluem estruturas miniaturizadas, sensores, atuadores e microeletrônica. Os microssensores e microatuadores são classificados como transdutores, dispositivos que convertem sinais mecânicos em sinais elétricos.
Aplicativos MEMS
Os sensores de sistemas microeletromecânicos
agora também são amplamente usados em aplicações de consumo, como smartphones e dispositivos de jogos, mas também há um grande mercado para dispositivos MEMS de maior qualidade, desenvolvidos para aplicações automotivas, aeroespaciais e outras.
Grau do sensor
O grau do sensor representa a qualidade do componente, o que é um bom indicador de sua confiabilidade. É uma escala que geralmente é separada nas seguintes categorias: Consumidor, Industrial, Tático, Navegação, Militar.
Quanto mais alto o grau do sensor, mais preciso ele é e mais alto é o preço. Para dispositivos inerciais, essa classificação é baseada no desvio em g para os acelerômetros e em graus por segundo para os giroscópios.
Grau de consumidor vs. grau industrial
Os sensores de nível industrial e de consumidor atendem a diferentes necessidades. O principal ponto forte dos sensores de grau industrial é sua confiabilidade, enquanto os sensores de grau de consumo têm uma faixa de medição mais ampla por um preço mais baixo.
A faixa do giroscópio indica o grau do sensor. Normalmente, os giroscópios e acelerômetros têm o mesmo grau.