MEMS 기술은 실리콘 기판 레벨에 위치한 기계적 요소, 센서, 액추에이터, 전자에 대한 통합을 다룹니다. MEMS는 Micro Electro-Mechanical Systems(미세 전자 기계 시스템)의 약자입니다.
정의
MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)는 웨이퍼 스케일로 제작된 소형화된 기계적 및 전기기계적 구성 요소를 포함하는 기술을 의미합니다. 이를 통해 MEMS 기술을 칩에 내장할 수 있으며, 다른 전자 부품과 마찬가지로 인쇄 회로에 통합할 수 있습니다.
이 장치는 통합된 마이크로일렉트로닉스로 제어되는 전기기계적 요소(가동 및 고정 부품 모두)로 구성됩니다.
MEMS의 핵심 구성 요소에는 소형화된 구조, 센서, 액추에이터, 마이크로일렉트로닉스가 포함됩니다. 마이크로센서와 마이크로액추에이터는 기계적 신호를 전기적 신호로 변환하는 장치인 트랜스듀서로 분류됩니다.
MEMS 응용 분야
MEMS는 운송, 통신, 헬스케어 등의 분야에서 발전을 가능하게 하는 핵심 기술임이 입증되었습니다.
이제 MEMS 센서는 스마트폰 및 게임 기기와 같은 소비자 가등 분야에서도 널리 사용되지만, 자동차, 항공우주 및 기타 응용 분야를 위해 개발된 고품질 MEMS 장치에 대한 거대한 시장도 존재합니다.
센서 등급
센서 등급은 신뢰성의 좋은 지표가 되는 부품의 품질을 나타냅니다. 이는 일반적으로 소비자용(Consumer), 산업용(Industrial), 택티컬(Tactical), 항법용(Navigation), 군용(Military)의 카테고리로 구분되는 스케일입니다.
센서의 등급이 높을수록 정확도가 높으며 가격도 비쌉니다. 관성 장치의 경우 이 분류는 가속도계의 g 단위 드리프트와 자이로스코프의 초당 각도 단위 드리프트를 기반으로 합니다.
소비자용 등급 대 산업용 등급
소비자용 및 산업용 등급 센서는 각기 다른 요구에 부응합니다. 산업용 등급 센서의 주된 강점은 신뢰성에 있는 반면, 소비자용 등급 센서는 더 낮은 가격으로 더 넓은 측정 범위를 제공합니다.
자이로스코프 범위는 센서의 등급을 나타냅니다. 대개 자이로스코프와 가속도계는 동일한 등급입니다.
