MEMS 기술은 실리콘 기판 레벨에 위치한 기계 요소, 센서, 액추에이터, 전자 장치를 통합한 기술입니다. MEMS는 마이크로 전자 기계 시스템의 약자입니다.
정의
초소형 전자 기계 시스템(MEMS)은 웨이퍼 규모로 제작된 소형화된 기계 및 전자 기계 부품을 포함하는 기술을 말합니다. 이를 통해 MEMS 기술을 칩에 내장한 다음 다른 전자 부품과 유사하게 인쇄 회로에 통합할 수 있습니다.
장치는 통합 마이크로전자공학에 의해 제어되는 전자기계 요소(이동 및 정지)로 구성됩니다.
MEMS의 핵심 구성 요소에는 소형화된 구조, 센서, 액추에이터 및 마이크로전자공학이 포함됩니다. 마이크로 센서와 마이크로 액추에이터는 기계적 신호를 전기 신호로 변환하는 장치인 트랜스듀서로 분류됩니다.
MEMS 애플리케이션
MEMS는 운송, 통신 및 의료와 같은 분야의 발전을 위한 핵심 기술로 입증되었습니다.
마이크로 일렉트로 기계 시스템 센서는 현재 스마트폰 및 게임 장치와 같은 소비자급 애플리케이션에도 널리 사용되고 있지만 자동차, 항공 우주 및 기타 애플리케이션을 위해 개발된 고품질 MEMS 장치에 대한 대규모 시장도 존재합니다.
센서 등급
센서 등급은 구성 요소의 품질을 나타내며, 이는 신뢰성을 나타내는 좋은 지표입니다. 일반적으로 다음과 같은 범주로 구분되는 척도입니다: 소비자, 산업, 전술, 내비게이션, 군사용
센서의 등급이 높을수록 정확도가 높고 가격도 높습니다. 관성 장치의 경우 이 분류는 가속도계의 경우 드리프트(g), 자이로스코프의 경우 초당 각도(도)를 기준으로 합니다.
소비자 등급과 산업용 등급 비교
소비자용과 산업용 센서는 서로 다른 요구 사항을 충족합니다. 산업용 등급의 센서의 주요 강점은 신뢰성이며, 소비자 등급 센서는 더 낮은 가격에 더 넓은 측정 범위를 제공합니다.
자이로스코프 범위는 센서의 등급을 나타냅니다. 일반적으로 자이로스코프와 가속도계는 같은 등급입니다.