MEMS 실리콘 기판 수준에 위치한 기계적 요소, 센서, 액추에이터 및 전자 장치를 통합합니다. MEMS Micro 시스템(Micro Electro-Mechanical Systems)을 MEMS .
정의
Micro 전기 기계 시스템(MEMS)은 웨이퍼 규모로 제작된 소형화된 기계 및 전기 기계 부품 기술을 의미합니다. 이를 통해 MEMS 칩에 내장될 수 있으며, 다른 전자 부품과 마찬가지로 인쇄 회로에 통합될 수 있습니다.
이 장치들은 통합된 마이크로전자공학에 의해 제어되는 전기기계적 요소(이동형 및 고정형 모두)로 구성됩니다.
MEMS 핵심 구성 요소에는 소형화된 구조체, 센서, 액추에이터 및 마이크로전자공학이 MEMS . 마이크로센서와 마이크로액추에이터는 기계적 신호를 전기적 신호로 변환하는 장치인 변환기로 분류됩니다.
MEMS
MEMS 교통, 통신, 의료 등 다양한 분야의 발전에 핵심 기반 기술로 MEMS .
Micro 시스템 센서는 현재 스마트폰 및 게임 기기와 같은 소비자용 애플리케이션에도 널리 사용되고 있지만, 자동차, 항공우주 및 기타 분야를 위해 개발된 고품질 MEMS 대한 시장도 매우 큽니다.
센서 등급
센서 등급은 부품의 품질을 나타내며 이는 신뢰성의 좋은 지표입니다. 일반적으로 소비자, 산업, 전술, 항법, 군사 등급으로 구분되는 척도입니다.
센서 등급이 높을수록 정확도가 높아지고 가격도 높아집니다. 관성 장치의 경우 이 분류는 가속도계의 g당 드리프트와 자이로스코프의 초당 도 단위로 표시됩니다.
소비자 등급 vs 산업 등급
소비자 등급 센서와 산업 등급 센서는 서로 다른 요구 사항을 충족합니다. 산업 등급 센서의 주요 강점은 신뢰성이며, 소비자 등급 센서는 더 저렴한 가격으로 더 넓은 측정 범위를 제공합니다.
자이로스코프 범위는 센서의 등급을 나타냅니다. 일반적으로 자이로스코프와 가속도계는 동일한 등급입니다.
