MEMS 기술은 실리콘 기판 수준에 위치한 기계적 요소, 센서, 액추에이터 및 전자 장치를 통합합니다. MEMS는 Micro Electro-Mechanical Systems의 약자입니다.
정의
Micro 전기-기계 시스템 (MEMS)은 웨이퍼 스케일로 제작된 소형 기계 및 전기기계 부품을 포함하는 기술을 의미합니다. 이를 통해 MEMS 기술은 칩에 내장될 수 있으며, 다른 전자 부품과 유사하게 인쇄 회로에 통합될 수 있습니다.
이 장치들은 통합 마이크로 전자 장치에 의해 제어되는 전기기계적 요소(움직이는 요소와 고정된 요소 모두)로 구성됩니다.
MEMS의 핵심 구성 요소는 소형 구조물, 센서, 액추에이터 및 마이크로 전자 장치를 포함합니다. 마이크로 센서와 마이크로 액추에이터는 기계적 신호를 전기적 신호로 변환하는 장치인 트랜스듀서로 분류됩니다.
MEMS 응용 분야
MEMS는 운송, 통신, 헬스케어와 같은 분야의 발전을 위한 핵심 기반 기술임이 입증되었습니다.
Micro Electro-Mechanical Systems 센서는 이제 스마트폰 및 게임 장치와 같은 소비자 등급 애플리케이션에도 널리 사용되지만, 자동차, 항공우주 및 기타 응용 분야를 위해 개발된 고품질 MEMS 장치에 대한 큰 시장도 존재합니다.
센서 등급
센서 등급은 부품의 품질을 나타내며 이는 신뢰성의 좋은 지표입니다. 일반적으로 소비자, 산업, 전술, 항법, 군사 등급으로 구분되는 척도입니다.
센서 등급이 높을수록 정확도가 높아지고 가격도 높아집니다. 관성 장치의 경우 이 분류는 가속도계의 g당 드리프트와 자이로스코프의 초당 도 단위로 표시됩니다.
소비자 등급 vs 산업 등급
소비자 등급 센서와 산업 등급 센서는 서로 다른 요구 사항을 충족합니다. 산업 등급 센서의 주요 강점은 신뢰성이며, 소비자 등급 센서는 더 저렴한 가격으로 더 넓은 측정 범위를 제공합니다.
자이로스코프 범위는 센서의 등급을 나타냅니다. 일반적으로 자이로스코프와 가속도계는 동일한 등급입니다.
