Was ist die MEMS-Technologie?

Was ist die MEMS-Technologie?

MEMS steht für Micro Electro-Mechanical Systems. Bei dieser Technologie werden mechanische Elemente, Sensoren, Aktoren und Elektronik auf der Ebene eines Siliziumsubstrats integriert.

Micro Elektromechanische Systeme Vorteile

Die MEMS-Technologie ermöglicht kleine Sensoren wie Miniatur-IMU, AHRS, INS. Weitere Vorteile sind ein geringerer Stromverbrauch, niedrigere Kosten, höhere Zuverlässigkeit und Robustheit.

MEMS-Anwendungen

MEMS haben sich als eine Schlüsseltechnologie für Entwicklungen in Bereichen wie Verkehr, Telekommunikation und Gesundheitswesen erwiesen. Micro Sensoren der elektromechanischen Systeme werden inzwischen auch in vielen Verbraucheranwendungen wie Smartphones und Spielgeräten eingesetzt, aber es gibt auch einen großen Markt für hochwertigere MEMS-Geräte, die für die Automobilindustrie, die Luft- und Raumfahrt und andere Anwendungen entwickelt werden.

Sensor Klasse

Die Sensornote steht für die Qualität des Bauteils, die ein guter Indikator für seine Zuverlässigkeit ist. Es handelt sich um eine Skala, die in der Regel in die folgenden Kategorien eingeteilt wird: Verbraucher, Industrie, taktisch, Navigation, Militär.

Je hochwertiger der Sensor ist, desto genauer ist er und desto höher ist sein Preis. Bei Trägheitsgeräten basiert diese Klassifizierung auf der Drift in g bei Beschleunigungsmessern und in Grad pro Sekunde bei Gyroskopen.

 

Klassifizierung von Trägheitsgeräten
Klassifizierung von Trägheitsgeräten

Verbraucherqualität vs. Industriequalität

Verbraucher- und industrietaugliche Sensoren erfüllen unterschiedliche Anforderungen.

Die Hauptstärke von Sensoren für den industriellen Einsatz ist ihre Zuverlässigkeit, während Sensoren für den Endverbraucher einen größeren Messbereich zu einem niedrigeren Preis bieten.

Die Reichweite des Gyroskops gibt die Qualität des Sensors an. In der Regel sind Gyroskope und Beschleunigungsmesser gleichwertig.

 

Gyroskop-Bereich
Gyroskop-Bereich

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