什么是微机电系统技术?

什么是微机电系统技术?

MEMS 是Micro Electro-Mechanical Systems 的缩写。这项技术将机械元件、传感器、致动器和电子元件集成在硅衬底上。

Micro 机电系统的优势

MEMS 技术可实现小型传感器,如微型 IMU、AHRSINS。其他优势还包括功耗低、成本低、可靠性高和坚固耐用。

微机电系统应用

事实证明,微机电系统是促进交通、电信和医疗保健等领域发展的关键技术。Micro 目前,机电系统传感器也广泛应用于智能手机和游戏设备等消费级应用中,但为汽车航空航天和其他应用开发的更高质量机电系统设备也有很大的市场。

传感器等级

传感器等级代表组件的质量,是其可靠性的良好指标。传感器等级通常分为以下几类:消费类、工业类、战术类、导航类和军用类。

传感器等级越高,精度越高,价格也越高。对于惯性设备,这种分类是基于加速度计以 g 为单位的漂移和陀螺仪以每秒度为单位的漂移。

 

惯性装置分类
惯性装置分类

消费级与工业级

消费级和工业级传感器可满足不同的需求。

工业级传感器的主要优势在于其可靠性,而消费级传感器的测量范围更广,价格更低。

陀螺仪的量程表示传感器的等级。通常陀螺仪和加速度计的等级相同。

 

陀螺仪范围
陀螺仪范围

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