MEMS技術とは？

MEMS技術とは？

MEMSとは、Micro Electro-Mechanical Systemsの略である。シリコン基板上に機械素子、センサー、アクチュエーター、電子回路を集積した技術。

Micro 電気機械システムの利点

MEMS技術は、小型IMU、AHRS 、INSなどの小型センサーを可能にする。その他の利点としては、低消費電力、低コスト、信頼性と堅牢性の向上が挙げられる。

MEMSアプリケーション

MEMSは、輸送、通信、医療などの分野における開発を可能にする重要な技術であることが証明されている。Micro 電気機械システム・センサは現在、スマートフォンやゲーム機器などの民生用アプリケーションでも広く使用されているが、自動車、航空宇宙、その他のアプリケーション向けに開発された、より高品質のMEMSデバイスの市場も大きい。

センサーグレード

センサーの等級は部品の品質を表し、信頼性の良い指標となる。これは通常、以下のカテゴリーに分けられる尺度である：民生用、産業用、戦術用、ナビゲーション用、軍事用。

センサーのグレードが高いほど精度が高く、価格も高くなる。慣性デバイスの場合、この分類は加速度センサーの場合はg単位のドリフト、ジャイロスコープの場合は度/秒単位のドリフトに基づいている。

コンシューマー・グレードとインダストリアル・グレードの比較

コンシューマーグレードと産業グレードのセンサーは、それぞれ異なるニーズに応えている。

民生グレードのセンサーが低価格で広い測定範囲を持つのに対し、工業グレードのセンサーの主な強みはその信頼性である。

ジャイロスコープレンジはセンサーのグレードを示します。通常、ジャイロスコープと加速度センサーは同じグレードです。