La technologie MEMS intègre des éléments mécaniques, des capteurs, des actionneurs et de l'électronique situés au niveau d'un substrat de silicium. MEMS signifie Micro Electro-Mechanical Systems.
Définition
Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) fait référence à une technologie qui implique des composants mécaniques et électromécaniques miniaturisés construits à l'échelle de la tranche. Cela permet d'intégrer la technologie MEMS dans des puces, qui peuvent ensuite être intégrées dans des circuits imprimés, comme d'autres composants électroniques.
Les dispositifs sont constitués d'éléments électromécaniques (mobiles et stationnaires) contrôlés par une microélectronique intégrée.
Les principaux composants des MEMS comprennent des structures miniaturisées, des capteurs, des actionneurs et de la microélectronique. Les microsenseurs et les microactionneurs sont classés comme transducteurs, des dispositifs qui convertissent les signaux mécaniques en signaux électriques.
Applications des MEMS
Les MEMS se sont avérés être une technologie clé pour les développements dans des domaines tels que le transport, les télécommunications et la santé.
Les capteurs de systèmes micro-électromécaniques sont désormais également largement utilisés dans les applications grand public, telles que les smartphones et les appareils de jeu, mais il existe également un marché important pour les dispositifs MEMS de qualité supérieure, développés pour l'automobile, l'aérospatiale et d'autres applications.
Qualité du capteur
La qualité du capteur représente la qualité du composant, ce qui est un bon indicateur de sa fiabilité. Il s'agit d'une échelle qui est généralement divisée en les catégories suivantes : grand public, industrielle, tactique, navigation, militaire.
Plus la qualité du capteur est élevée, plus il est précis et plus le prix est élevé. Pour les dispositifs inertiels, cette classification est basée sur la dérive en g pour les accéléromètres et en degrés par seconde pour les gyroscopes.
Qualité grand public ou qualité industrielle
Les capteurs grand public et industriels répondent à des besoins différents. La principale force des capteurs de qualité industrielle est leur fiabilité, tandis que les capteurs grand public ont une plage de mesure plus large pour un prix inférieur.
La plage du gyroscope indique la qualité du capteur. Habituellement, les gyroscopes et les accéléromètres sont de la même qualité.