由于 MEMS 传感器对外力高度敏感，因此振动会给测量带来不必要的噪声或失真。这些影响包括
- 跨轴敏感性：沿一个轴的振动可能被误解为另一个轴上的运动。
- 共振放大：在特定频率（传感器的自然共振）下，振动会放大偏差，导致错误输出。
- 偏置不稳定：它们会导致传感器偏置（零点偏移）的暂时或长期偏移。
- 机械疲劳：长时间的振动会使微观结构磨损或退化，从而降低可靠性。
SBG 抗震设计
SBG Systems 在设计惯性传感器时特别注重信号处理，只使用高质量的 MEMS 传感器，并结合高效的抗混叠 FIR 滤波器来限制振动问题。由于使用了低 VRE（振动整流误差）加速度计，因此在安装过程中无需进行任何隔离/阻尼处理。
选择正确的加速度计选项
微机电系统（MEMS）技术具有很强的抗冲击能力，但它们对振动，尤其是高频振动的敏感度可能会有所不同。在购买传感器时，可以选择更大范围的加速度计，例如，椭圆形传感器可以选择 16g 而不是 8g。
限制惯性传感器周围的振动
有几种方法可以减少振动对 MEMS 传感器的影响：
- 用适当的材料（如 Silent Bloc）对其进行物理湿润。
- 在处理重量较轻的传感器（例如椭圆形）时，可能有必要将传感器与较重的质量（如电池）一起阻尼，以便更容易地抑制振动。将较重的系统与振动隔离总是比较容易的。
- 使用柔性电缆，避免通过电缆传输。
- 如果是高频，应检查它们是否由空气（声音）传播，并用吸音材料对设备进行相应的隔离。
使用振动器进行 SBG 工厂测试
SBG Systems 对其传感器进行各种测试。对传感器的行为进行表征，从而了解其可承受的水平和频率，并设计专门的调整算法。使用的测试方法是 MIL-STD-810G（由美国国防部定义），其最小完整性数据如下所示。
