La technologie MEMS intègre des éléments mécaniques, des capteurs, des actionneurs et des composants électroniques situés sur un substrat de silicium. MEMS est l'abréviation de Micro Electro-Mechanical Systems (systèmes micro-électro-mécaniques).
Définition
Les systèmes micro-électro-mécaniques (MEMS) désignent une technologie qui implique des composants mécaniques et électromécaniques miniaturisés construits à l'échelle de la plaquette. Cela permet à la technologie MEMS d'être incorporée dans des puces, qui peuvent ensuite être intégrées dans des circuits imprimés, comme d'autres composants électroniques.
Les dispositifs sont constitués d'éléments électromécaniques (mobiles et fixes) contrôlés par une microélectronique intégrée.
Les principaux composants des MEMS comprennent des structures miniaturisées, des capteurs, des actionneurs et de la microélectronique. Les microcapteurs et les microactionneurs sont classés parmi les transducteurs, des dispositifs qui convertissent les signaux mécaniques en signaux électriques.
Applications MEMS
Les MEMS se sont révélés être une technologie habilitante essentielle pour les développements dans des domaines tels que les transports, les télécommunications et les soins de santé.
Les capteurs des microsystèmes électromécaniques sont désormais largement utilisés dans les applications grand public, telles que les smartphones et les appareils de jeu, mais il existe également un vaste marché pour les dispositifs MEMS de qualité supérieure, développés pour l'automobile, l'aérospatiale et d'autres applications.
Qualité du capteur
Le grade du capteur représente la qualité du composant, qui est un bon indicateur de sa fiabilité. Il s'agit d'une échelle qui est généralement divisée en plusieurs catégories : consommateur, industriel, tactique, navigation et militaire : Grand public, industriel, tactique, navigation, militaire.
Plus le capteur est de qualité, plus il est précis et plus son prix est élevé. Pour les dispositifs inertiels, cette classification est basée sur la dérive en g pour les accéléromètres et en degrés par seconde pour les gyroscopes.
Qualité consommateur ou qualité industrielle
Les capteurs grand public et industriels répondent à des besoins différents. Le principal atout des capteurs de qualité industrielle est leur fiabilité, alors que les capteurs de qualité grand public ont une plage de mesure plus large pour un prix inférieur.
La plage du gyroscope indique la qualité du capteur. En général, les gyroscopes et les accéléromètres sont de même qualité.